Slėgio jutikliai naudojami skysčių ir dujų slėgiui matuoti. Įprasti tipai yra MEMS silicio pjezorezistiniai slėgio jutikliai, MEMS silicio rezonansiniai slėgio jutikliai, keraminiai talpiniai slėgio jutikliai, metaliniai talpiniai slėgio jutikliai, purškiamos plonos{1}plėvelės slėgio jutikliai ir metalo įtempio matuoklio slėgio jutikliai. Jų veikimo scenarijai skiriasi priklausomai nuo darbo principo.
MEMS silicio pjezorezistinis slėgio jutiklis:Tai yra plačiausiai naudojamas slėgio jutiklio tipas. Jo pagrindinis matavimo diapazonas apima nuo 15 kPa iki 100 MPa, o tipinis tikslumas svyruoja nuo 0,05 % FS iki 3 % FS. Darbinės temperatūros diapazonas paprastai yra -55–180 laipsnių. Kadangi jis suderinamas su didelio masto{11}}puslaidininkių gamybos procesais, jis yra nebrangus. Skysčių matavimui reikalinga alyva užpildyta izoliacinė pakuotė.
MEMS silicio rezonansinio slėgio jutiklis: Šis jutiklis sukurtas išradingai, paverčiantis slėgį į mikro-spindulio rezonansinio dažnio pokytį. Kadangi pluošto dažnis priklauso tik nuo jo struktūros ir temperatūros bei turi filtravimo efektų, šis jutiklis pasiekia aukštą išvesties tikslumą iki 0,01 % FS. Jo pagrindinis slėgio matavimo diapazonas yra nuo 100 kPa iki 40 MPa, o darbinės temperatūros diapazonas yra nuo -55 laipsnių iki 85 laipsnių. Dėl sudėtingos gamybos ir didelių sąnaudų jis tinka naudoti, kai reikia itin didelio tikslumo, pavyzdžiui, puslaidininkių apdorojimui ir vandenyno gylio matavimui.
Keraminis talpinio slėgio jutiklis:Keraminė medžiaga pasižymi puikiu atsparumu dilimui, todėl šis jutiklis tinka slėgiui matuoti smėlio ir srutos mišiniuose. Jis taip pat užtikrina gerą atsparumą korozijai ir leidžia išmatuoti korozinius skysčius, tokius kaip sieros rūgštis. Be to, keraminiai slėgio jutikliai gali atlaikyti vandens užšalimą -yra funkcija, kurios negalima pasiekti naudojant MEMS jutiklius.
Metalo talpinio slėgio jutiklis:Šis jutiklis naudoja metalinę diafragmą kaip slėgiui jautrų kilnojamąjį elektrodą, suformuojantį kondensatorių su fiksuotu elektrodu. Kai slėgis veikia diafragmą, pasikeičia talpa tarp elektrodų, todėl susidaro slėgio ir talpos santykis. Metalinės diafragmos gali būti pagamintos iš korozijai atsparių medžiagų, tokių kaip Inconel, ir gali išmatuoti labai žemą slėgį (0–1/10/100/1000 Torr). Todėl jis plačiai naudojamas vakuumo matavimuose ir specialiuose dujų matavimuose puslaidininkių pramonėje.
PurkštelėjoThin-filmasSlėgio jutiklis ir metalinio deformacijos matuoklio slėgio jutiklis:Abu jutikliai pasižymi jėga{0}}jautri medžiaga, padengta dideliu metaliniu paviršiumi, todėl gaminys yra tvirtas ir patvarus. Jie tinka aukšto slėgio diapazonams ir didelio patikimumo reikalaujantiems darbams, pvz., geltoniesiems gaminiams, dyzeliniams varikliams ir tunelių gręžimo staklėms. Šiuos jutiklius nėra lengva pagaminti į absoliutaus slėgio jutiklį ir jie paprastai gali apimti didžiausią diapazoną iki 200 MPa ar daugiau. Pirmajame aukščiau esančiame paveikslėlyje pavaizduota išpurkšta plona{5}}plėvelė jutiklio šerdis, o antrajame – metalinė deformacijos matuoklio šerdis.
Slėgio jutiklio pasirinkimas turi būti pagrįstas faktinėmis veikimo sąlygomis, kad būtų galima visiškai išnaudoti jo veikimą. „Mihui Technology“ specializuojasi slėgio jutikliuose, pagrįstuose įvairiais principais, siūlydama visas projektavimo, gamybos ir gamybos galimybes, kad klientams būtų pateikti tinkamiausi sprendimai. Kviečiame susisiekti su mumis, jei jus domina:Telefono numeris: +8618066965135; El. paštas: mihuitec@gmail.com
