Atsižvelgiant į jų veikimo principus, slėgio jutiklius galima suskirstyti į keletą tipų, įskaitant keraminius talpinius, metalinius talpinius, plonos -plėvelės įtempimo matuoklius, įtempimo matuoklius, silicio pjezorezistinius, silicio talpinius ir silicio rezonansinius tipus. Tarp jų rezonansiniai slėgio jutikliai siūlo didžiausią tikslumą ir pasiekia iki 0,01 % FS tikslumą visame temperatūros diapazone (-40–85 laipsnių). Dėl išskirtinio tikslumo jie plačiai naudojami taikant itin didelį slėgio tikslumą, pavyzdžiui, vandenyno gylio matavimą, slėgio atskaitos standartus, orlaivio skrydžio parametrų matavimą ir meteorologinį stebėjimą. Priežastys, kodėl silicio rezonansiniai slėgio jutikliai pasiekia tokį didelio tikslumo slėgio matavimą, yra šios:
1. Silicio rezonansinio slėgio jutiklio pagrindinė struktūra yra simetriškas dvigubas -užspaustas silicio rezonatorius. Rezonatoriaus rezonansinis dažnis keičiasi veikiant slėgiui. Kadangi dažnis yra būdinga kietųjų dalelių savybė, jis yra mažiau jautrus žemo-dažnio triukšmui ir minimaliai kinta priklausomai nuo temperatūros. Dėl šio natūralaus filtravimo efekto gaunamas didelis signalo{6}}ir{7}}triukšmo santykis.
2. Dviguba-rezonatoriaus konstrukcija užtikrina, kad kai rezonatorius vibruoja, grynoji išorinė jėga yra lygi nuliui. Be to, dėl MEMS anodinio sujungimo technologijos naudojimo visas rezonatorius veikia vakuuminėje aplinkoje, todėl pasiekiamas aukštas kokybės faktorius.
3. Projektavimo procese termiškai jautriose rezonatoriaus vietose įterpiamos įtempių{1}}reljefo struktūros, kad būtų sumažintas šiluminis įtempis. Tai žymiai sumažina rezonatoriaus šiluminį įtempį.
„Xi'an Mihui Technology“ silicio rezonansinio slėgio jutiklio produktai užtikrina aukštą{0}}tikslumo slėgio matavimą 0,01 % FS tikslumu visame temperatūros diapazone. Jie siūlo neprilygstamą metinį 0,01% FS stabilumą ir palaiko tiek dažnio išvestį, tiek RS485 skaitmeninę išvestį. Šie jutikliai apima absoliutaus slėgio matavimus nuo 100 kPa iki 1 MPa. Specifikacijos yra tokios:
Suinteresuotosios šalys gali susisiekti su mumis per mūsų svetainėje pateiktą informaciją.
